Tsaftar dashimfidar wurizai yi tasiri sosai akan ƙimar cancantar matakai da samfuran na gaba na semiconductor. Har zuwa 50% na duk asarar amfanin gona ana haifar da sushimfidar wurigurbacewa.
Abubuwan da za su iya haifar da canje-canje mara ƙarfi a cikin aikin lantarki na na'urar ko tsarin kera na'urar ana kiran su gaba ɗaya a matsayin gurɓatacce. Masu gurɓatawa na iya fitowa daga wafer ɗin kanta, ɗaki mai tsabta, kayan aikin sarrafawa, sarrafa sinadarai ko ruwa.WaferAna iya gano gurɓata gabaɗaya ta hanyar kallo na gani, duban tsari, ko yin amfani da hadadden kayan bincike a gwajin na'urar ƙarshe.
▲ Abubuwan gurɓatawa a saman ƙorafin siliki | Cibiyar sadarwa tushen hoto
Za a iya amfani da sakamakon bincike na gurɓataccen abu don nuna ƙima da nau'in gurɓataccen abu da aka fuskantawafera cikin wani mataki na tsari, takamaiman inji ko tsarin gaba ɗaya. Bisa ga rarrabuwar hanyoyin ganowa.shimfidar wuriana iya raba gurɓatawa zuwa nau'ikan masu zuwa.
Karfe gurbacewa
Lalacewar da ƙarfe ke haifarwa na iya haifar da lahani na na'urar semiconductor na digiri daban-daban.
Ƙarfe na alkaline ko ƙananan ƙarfe na ƙasa (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, da dai sauransu) na iya haifar da zubar da ruwa a cikin tsarin pn, wanda hakan zai haifar da rushewar wutar lantarki na oxide; Ƙarfe na canji da ƙarfe mai nauyi (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, da dai sauransu) gurbatawa na iya rage yanayin rayuwar mai ɗaukar kaya, rage rayuwar sabis na ɓangaren ko ƙara yawan duhu lokacin da ɓangaren ke aiki.
Hanyoyi na gama gari don gano gurɓacewar ƙarfe sune jimillar kyalli na X-ray fluorescence, atom absorption spectroscopy da inductively vended plasma mass spectrometry (ICP-MS).
▲ Wafer gurbacewar yanayi | Binciken Gate
Ƙarfe na iya fitowa daga reagents da ake amfani da su wajen tsaftacewa, etching, lithography, deposition, da dai sauransu, ko kuma daga na'urorin da ake amfani da su wajen aiwatar da su, kamar tanda, reactors, ion implantation, da dai sauransu, ko kuma ana iya haifar da shi ta rashin kula da wafer.
Gurbacewar barbashi
Ana lura da ma'ajiyar kayan gaske ta hanyar gano haske da ya tarwatse daga lahani na saman. Don haka, mafi ingancin sunan kimiyya don gurɓacewar barbashi shine lahani mai haske. Gurɓataccen barbashi na iya haifar da toshewa ko abin rufe fuska a cikin etching da tsarin lithography.
A lokacin haɓakar fim ko ƙaddamarwa, ana haifar da pinholes da microvoids, kuma idan ɓangarorin suna da girma kuma suna aiki, har ma suna iya haifar da gajeriyar kewayawa.
▲ Samuwar gurbacewa | Cibiyar sadarwa tushen hoto
Ƙananan gurɓataccen ƙwayar cuta na iya haifar da inuwa a saman, kamar lokacin photolithography. Idan manyan ɓangarorin suna tsakanin photomask da Layer na photoresist, za su iya rage ƙudurin bayyanar da lamba.
Bugu da kari, za su iya toshe hanzarin ions yayin dasawa ion ko bushewar etching. Har ila yau, ana iya rufe ɓoyayyiyar fim ɗin, ta yadda za a sami ƙumburi da kumbura. Yaduddukan da aka ajiye na gaba na iya fashe ko tsayayya da tarawa a waɗannan wuraren, haifar da matsala yayin fallasa.
Kwayoyin cuta
Gurɓatattun abubuwan da ke ɗauke da carbon, da kuma tsarin haɗin kai da ke da alaƙa da C, ana kiran su gurɓataccen yanayi. Kwayoyin gurɓataccen yanayi na iya haifar da kaddarorin hydrophobic na ba zato akanshimfidar wuri, ƙara ƙaƙƙarfan yanayi, samar da ƙasa mai hazo, tarwatsa ci gaban Layer epitaxial, kuma yana shafar tasirin tsaftacewa na gurɓataccen ƙarfe idan ba a fara cire gurɓataccen abu ba.
Irin wannan gurɓataccen yanayi gabaɗaya ana gano shi ta kayan kida irin su thermal desorption MS, X-ray photoelectron spectroscopy, da Auger electron spectroscopy.
▲ Cibiyar sadarwa ta tushen hoto
Gaseous gurbatawa da ruwa gurbatawa
Kwayoyin yanayi da gurɓataccen ruwa tare da girman kwayoyin yawanci ba a cire su ta hanyar iska mai inganci mai inganci (HEPA) ko matatun iska mai ƙarancin ƙarfi (ULPA). Irin wannan kamuwa da cuta yawanci ana lura da shi ta ion mass spectrometry da capillary electrophoresis.
Wasu gurɓatattun abubuwa na iya kasancewa cikin nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan nau'ikan gurbatawa na iya zama nau'ikan gurɓatattun abubuwa na iya zama barbashi na iya haɗawa da kayan ƙarfe ko ƙarfe, ko duka biyun, don haka ana iya rarraba nau'in gurɓataccen abu a matsayin sauran nau'ikan.
▲ Abubuwan gurɓataccen ƙwayar iskar gas | IONICON
Bugu da ƙari, ana iya rarraba gurɓataccen wafer azaman gurɓataccen ƙwayoyin cuta, gurɓataccen ƙwayar cuta, da gurɓataccen tsari da aka samu daidai da girman tushen gurɓataccen abu. Karamin girman ƙwayar gurɓataccen ƙwayar cuta, mafi wahalar cirewa. A cikin masana'antun kayan lantarki na yau, hanyoyin tsabtace wafer suna lissafin 30% - 40% na dukkan tsarin samarwa.
▲ Abubuwan gurɓatawa a saman ƙorafin siliki | Cibiyar sadarwa tushen hoto
Lokacin aikawa: Nuwamba-18-2024