Gudanar da MEMS - Haɗin kai: Aikace-aikace da Ayyuka a cikin Masana'antar Semiconductor, Sabis na Musamman na Semicera
A cikin masana'antun microelectronics da semiconductor, fasahar MEMS (micro-electromechanical system) fasaha ta zama ɗaya daga cikin mahimman fasahar da ke fitar da sababbin abubuwa da kayan aiki masu girma. Tare da ci gaban kimiyya da fasaha, fasahar MEMS an yi amfani da ita sosai a cikin na'urori masu auna firikwensin, masu kunnawa, na'urorin gani, kayan aikin likitanci, na'urorin lantarki da sauran fagage, kuma a hankali ya zama wani ɓangare na fasaha na zamani. A cikin waɗannan fagagen, tsarin haɗin gwiwa (Bonding), a matsayin maɓalli mai mahimmanci a cikin sarrafa MEMS, yana taka muhimmiyar rawa wajen aiki da amincin na'urar.
Bonding fasaha ce da ke haɗa abubuwa biyu ko fiye ta hanyar zahiri ko sinadarai. Yawancin lokaci, nau'ikan kayan abu daban-daban suna buƙatar haɗawa ta hanyar haɗin kai a cikin na'urorin MEMS don cimma daidaiton tsari da fahimtar aiki. A cikin tsarin masana'antu na na'urorin MEMS, haɗin kai ba kawai tsarin haɗin kai ba ne, amma kuma kai tsaye yana rinjayar yanayin zafi, ƙarfin injin, aikin lantarki da sauran abubuwan na'urar.
A cikin ingantaccen aiki na MEMS, fasahar haɗin gwiwa tana buƙatar tabbatar da kusanci tsakanin kayan yayin da guje wa duk wani lahani da ke shafar aikin na'urar. Sabili da haka, daidaitaccen sarrafa tsarin haɗin gwiwa da kayan haɗin kai masu inganci sune mahimman abubuwan don tabbatar da cewa samfurin ƙarshe ya cika ka'idodin masana'antu.
MEMS bonding aikace-aikace a cikin semiconductor masana'antu
A cikin masana'antar semiconductor, ana amfani da fasahar MEMS sosai wajen samar da ƙananan na'urori kamar na'urori masu auna firikwensin, accelerometers, firikwensin matsa lamba, da gyroscopes. Tare da karuwar buƙatun ƙanƙanta, haɗe-haɗe, da samfuran fasaha, daidaito da buƙatun aikin na'urorin MEMS suma suna ƙaruwa. A cikin waɗannan aikace-aikacen, ana amfani da fasahar haɗin gwiwa don haɗa abubuwa daban-daban kamar siliki wafers, gilashin, karafa, da polymers don cimma ingantaccen aiki da kwanciyar hankali.
1. Na'urori masu auna matsa lamba da accelerometers
A cikin fagagen motoci, sararin samaniya, na'urorin lantarki na mabukaci, da sauransu, ana amfani da firikwensin matsa lamba na MEMS da accelerometers sosai wajen aunawa da tsarin sarrafawa. Ana amfani da tsarin haɗin kai don haɗa kwakwalwan siliki da abubuwan firikwensin don tabbatar da hankali da daidaito. Dole ne waɗannan na'urori masu auna firikwensin su iya jure matsanancin yanayin muhalli, kuma ingantattun hanyoyin haɗin kai na iya hana kayan aiki yadda ya kamata daga cirewa ko rashin aiki saboda canjin yanayin zafi.
2. Micro-optical na'urorin da MEMS na gani mai sauyawa
A fagen sadarwa na gani da na'urorin Laser, na'urorin gani na MEMS da na'urori masu sauyawa suna taka muhimmiyar rawa. Ana amfani da fasahar haɗin gwiwa don cimma madaidaicin haɗi tsakanin na'urorin MEMS na tushen silicon da kayan kamar filaye na gani da madubai don tabbatar da inganci da kwanciyar hankali na watsa siginar gani. Musamman a cikin aikace-aikacen da ke da babban mitar, bandwidth mai faɗi da watsawa mai nisa, fasahar haɗin kai mai girma yana da mahimmanci.
3. MEMS gyroscopes da inertial firikwensin
MEMS gyroscopes da na'urori masu auna inertial ana amfani da su sosai don madaidaicin kewayawa da matsayi a manyan masana'antu irin su tuki masu cin gashin kansu, robotics, da sararin samaniya. Mahimman hanyoyin haɗin kai na iya tabbatar da amincin na'urori da guje wa lalatawar aiki ko gazawa yayin aiki na dogon lokaci ko aiki mai girma.
Mabuɗin aiki na fasaha na haɗin gwiwa a cikin sarrafa MEMS
A cikin sarrafa MEMS, ingancin tsarin haɗin kai kai tsaye yana ƙayyade aiki, rayuwa da kwanciyar hankali na na'urar. Don tabbatar da cewa na'urorin MEMS za su iya aiki da dogaro na dogon lokaci a cikin yanayin aikace-aikacen daban-daban, fasahar haɗin gwiwa dole ne ta sami maɓalli masu zuwa:
1. High thermal kwanciyar hankali
Yawancin wurare na aikace-aikacen a cikin masana'antar semiconductor suna da yanayin zafi mai yawa, musamman a fagen motoci, sararin samaniya, da dai sauransu. Zaman lafiyar thermal na kayan haɗin gwiwa yana da mahimmanci kuma yana iya jure canjin zafin jiki ba tare da lalacewa ko gazawa ba.
2. Babban juriya na lalacewa
Na'urorin MEMS yawanci sun haɗa da ƙananan injiniyoyi, kuma doguwar juzu'i da motsi na iya haifar da lalacewa na sassan haɗin gwiwa. Kayan haɗin kai yana buƙatar samun kyakkyawan juriya na lalacewa don tabbatar da kwanciyar hankali da ingancin na'urar a cikin dogon lokaci.
3. Tsafta mai girma
Masana'antar semiconductor tana da tsauraran buƙatu akan tsabtar kayan. Duk wani ƙaramar gurɓataccen abu na iya haifar da gazawar na'urar ko lalata aikin. Sabili da haka, kayan da ake amfani da su a cikin tsarin haɗin kai dole ne su kasance da tsabta sosai don tabbatar da cewa na'urar ba ta shafa ta hanyar gurɓatawar waje yayin aiki ba.
4. Daidaitaccen haɗin kai
Na'urorin MEMS sau da yawa suna buƙatar matakan ƙananan ƙananan ko ma daidaiton matakin nanometer. Dole ne tsarin haɗin kai ya tabbatar da madaidaicin docking kowane Layer na abu don tabbatar da cewa aikin da aikin na'urar ba ta da tasiri.
Anodic bonding
Anodic bonding:
● Ana amfani da haɗin kai tsakanin siliki da gilashin, ƙarfe da gilashi, semiconductor da alloy, da semiconductor da gilashi.
Eutectoid bonding:
● Ana amfani da kayan kamar PbSn, AuSn, CuSn, da AuSi
Haɗin manne:
● Yi amfani da manne na haɗin gwiwa na musamman, wanda ya dace da mannen haɗin gwiwa na musamman kamar AZ4620 da SU8
● Ana amfani da shi zuwa 4-inch da 6-inch
Semicera Custom Bonding Service
A matsayin mai ba da jagoranci na masana'antu na hanyoyin sarrafa MEMS, Semicera ya himmatu don samar wa abokan ciniki ingantaccen madaidaicin, babban kwanciyar hankali da sabis na haɗin kai na musamman. Za a iya amfani da fasahar haɗin gwiwarmu a ko'ina a cikin haɗin kayan aiki daban-daban, ciki har da silicon, gilashi, karfe, yumbu, da dai sauransu, samar da sababbin hanyoyin magance manyan ayyuka a cikin semiconductor da MEMS filayen.
Semicera yana da kayan aikin samarwa da ƙungiyoyin fasaha, kuma yana iya samar da hanyoyin haɗin kai na musamman bisa ga takamaiman bukatun abokan ciniki. Ko ingantaccen haɗin gwiwa ne a ƙarƙashin yanayin zafi mai girma da yanayin matsa lamba, ko madaidaicin haɗin na'urar micro-na'urar, Semicera na iya saduwa da ƙayyadaddun buƙatun tsari daban-daban don tabbatar da cewa kowane samfur na iya saduwa da mafi girman matsayi.
Mu al'ada bonding sabis ba'a iyakance ga al'ada bonding tafiyar matakai, amma kuma ya hada da karfe bonding, thermal matsawa bonding, m bonding da sauran matakai, wanda zai iya samar da sana'a goyon bayan fasaha ga daban-daban kayan, Tsarin da aikace-aikace bukatun. Bugu da ƙari, Semicera kuma na iya ba abokan ciniki cikakken sabis daga haɓaka samfuri zuwa samarwa da yawa don tabbatar da cewa kowane buƙatun fasaha na abokan ciniki za a iya cika su daidai.
